Manipulators Vacuum waxa loo isticmaalaa in lagu dhaqaajiyo ama la dhigo wafer ama shayada qolal faaruq ah oo khaas ah iyo codsiyada maaraynta alaabta. Waxay bixiyaan dabacsanaan korodhay sababtoo ah isku-xiryada adag lama isticmaalo. Qaar ka mid ah manipulators vacuum waxaa ka mid ah qalabka kor u qaada ama saameeyayaasha dhamaadka. Kuwo kale waxaa ka mid ah qufullada rarka iyo ulaha wobble. Badanaa, manipulators vacuum waxaa lala isticmaalaa qolalka faakuumka. Gacan-qablayaasha wafer-ka ama robots-ku waa nooc toos ah oo manupulators vacuum ah oo loogu wareejinayo maraqa ama substrate-ka gudaha ama ka bixida PVD, CVD, Plasma etching ama qolal kale oo farsamaynta faakuumka. Si loo abuuro qolka faakuumka, matoorka faakuumka ama matoorka gudaha ku jira ayaa si jir ah hawada uga soo saara markabka ilaa cadaadiska hawada-hoosaadka ee la doonayo laga gaaro. Haddii qolka faakuumku ka kooban yahay vacuum ultra-sare, markaas waa in la isticmaalo manipulator ultra-high vacuum iyo matoor vacuum ultra-sare ah.
1. Naqshadaynta gaarka ah ee nuugistu waxay ka dhigi kartaa shayga kor u kaca ama hoos u dhaca doonistiisa, laakiin sidoo kale wuxuu u wareegaa jihada kursiga go'an ee suugada si uu hawlgalka uga dhigo mid ku habboon oo sax ah. Naqshadeynta kontoroolka fog-fog waxay keenaysaa ku habboonaanta hawlgalka waxayna hubisaa badbaadada isticmaaleyaasha.
2. Isku-xidhka mashiinka nuugista vacuum wuxuu qabtaa saxanka nuugista ee dibedda laga keeno, oo leh awood adsorption xoog leh, badbaado sare leh iyo ilaalinta alaabta waxyeellada.
3. Wiishka vacuum wuxuu si fudud u qaadi karaa alaab jilicsan, ay adagtahay in kor loo qaado, iyo dusha siman si loo hagaajiyo hufnaanta, u dhimo xoogga shaqada una badbaadiyo kharashka ganacsiga.